Laboratórios dos EUA se unem para acelerar litografia EUV de alta abertura
文章分类: Ciência
Dois laboratórios nacionais do Departamento de Energia dos EUA e o centro de pesquisa NY Creates lançaram um programa-piloto para acelerar o desenvolvimento de chips avançados, com foco em litografia EUV de alta abertura e metrologia por raios X.
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